КАРТОЧКА ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ

Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.

 

ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ


Номер 17-12-01176

НазваниеФормирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами методом ионной имплантации

РуководительСтепанов Андрей Львович, Доктор физико-математических наук

Организация финансирования, регион Федеральное государственное бюджетное учреждение науки «Федеральный исследовательский центр «Казанский научный центр Российской академии наук», Республика Татарстан (Татарстан)

Период выполнения при поддержке РНФ 2017 г. - 2019 г. 

Конкурс№18 - Конкурс 2017 года «Проведение фундаментальных научных исследований и поисковых научных исследований отдельными научными группами».

Область знания, основной код классификатора 02 - Физика и науки о космосе, 02-204 - Нано- и микроструктуры

Ключевые словаионная имплантация, металлические наночастицы, пористые полупроводники, плазмоника, пористый кремний и германий

Код ГРНТИ29.19.22


СтатусУспешно завершен


 

ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ


Аннотация
Проект направлен на решение фундаментальной и прикладной задачи субмикро- и нанофизики, связанной с разработкой научных основ получения новых функциональных фотонных материалов и метаматериалов из тонких пористых полупроводниковых слоев с включениями металлических наночастиц, и на установление закономерностей целенаправленного изменения физико-химических свойств таких сред при их формировании. Конкретная цель и стратегия проекта заключается в исследовании наноструктурированных материалов, получаемых по новой недавно разработанной и запатентованной нами методике формирования слоев пористых полупроводников с металлическими наночастицами (патенты РФ на изобретения № 2547515 (2015), № 2597801 (2016) и № 2593912 (2016)), базирующейся на оригинальной технологии низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности аморфного и монокристаллического кремния и германия. В ходе выполнения проекта планируется экспериментальная реализация синтеза наночастиц благородных и переходных металлов в структуре пористого Si, Ge и GeSi, формирующихся одновременно с порами в поверхностном слое исходных подложек при их ионном облучении. Актуальность проекта обусловлена тем, что структуры пористых полупроводников с металлическими наночастицами активно изучаются и рассматриваются в настоящее время в качестве перспективных инновационных наноматериалов для применения на практике в качестве эффективных излучающих, плазмонных и биосенсорных устройств. Таким образом, в проекте, в противоположность традиционным химическим подходам, предлагается использовать новый альтернативный и ранее не известный на практике физический способ изготовления пористых кремниевых и германиевых структур с металлическими наночастицами, а следовательно, ожидается получение ряда наноматериалов с новыми свойствами. В результате выполнения проекта будут изучены и оптимизированы процессы и ответственные за них физические условия целенаправленного получения новых типов фотонных наноматериалов на основе пористых полупроводниковых слоев различной размерности и концентраций определенного типа металлических наночастиц, осуществлен поиск корреляционных особенностей между структурными параметрами и характеристиками оптических, плазмонных, фотолюминесцентных и биосенсорных (на основе гигантского комбинационного рассеяния света - SERS) свойств композиционных сред, а также выработаны рекомендации по изготовлению и использованию данных наноматериалов на практике. Будут проведены сравнительные исследования физико-химических характеристик полученных ионной имплантацией наноструктур с традиционными пористыми материалами, приготовленными классическими электрохимическими способами. Детальное изучение в рамках проекта позволит выяснить фундаментальные механизмы зарождения и роста пористых полупроводниковых слоев с металлическими наночастицами при ионной имплантации и установить особенности проявления оригинальных свойств наночастиц в матрице полупроводников. Высокая значимость ожидаемых результатов заключается в востребованности современными технологиями фундаментальных знаний, без которых невозможно создание принципиально новых материалов для таких областей как оптоэлектроника, современная биомедицина и плазмонная сенсорика.

Ожидаемые результаты
Основной целью настоящего проекта является развитие оригинального технологического подхода на основе ионной имплантации и экспериментальная реализация синтеза пористых кремниевых и германиевых структур (PSi, PGe, PGeSi) с наночастицами благородных (серебра и меди) и переходных (кобальта и железа) металлов (Ag:PSi, Ag:PGe, Ag:PGeSi, Cu:PSi, Cu:PGe, Cu:PGeSi, Co:PSi, Co:Ge, Fe:PSi), а также поиск корреляционных особенностей между структурными параметрами и характеристиками оптических, плазмонных, фотолюминесцентных и сенсорных свойств исследуемых синтезированных наноматериалов. Ожидается получение нового класса наноматериалов с эффективными управляемыми физическими свойствами и характеристиками, обеспечивающими функционирование дифракционных решеток, люминесцентных и магнитооптических сенсоров, биосенсоров на основе эффекта гигантского комбинационного рассеяния света (SERS) за счет проявления плазмонных эффектов в ионно-синтезируемых металлических наночастицах. В итоге будут получены организованные в макромасштабе новые уникальные материалы с управляемыми характеристиками, превосходящие по своим функциональным возможностям известные зарубежные и отечественные аналоги. В целом уровень ожидаемых результатов сопоставим с мировым, а по ряду экспериментальных подходов опережает близкие по стратегии аналогичные зарубежные работы, представленные в высокорейтинговых зарубежных журналах. План публикаций (16): - 12 статей в рейтинговых журнала (Web of Science и Scopus); - 1 монография; - 5 патентов. В практическом плане результаты проекта могут быть использованы в производстве высокоэффективных компонентов оптоэлектронных устройств (источники света, дифракционные элементы, лазерная техника и др.) и в качестве нанобиоматериалов (биосенсоры, ловушки для биоактивных материалов). Исследовательский проект предоставит уникальную возможность для обучения и воспитания молодых исследователей, аспирантов и студентов в Казанском федеральном университете (по соглашению о сотрудничестве с КФТИ КазНЦ РАН) по современной тематике - физики пористых наноматериалов. Проект будет способствовать глубокому обучению, обмену различными идеями, опытом и знаниями в области материаловедения, нанотехнологии и нанофотоники.


 

ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ


Аннотация результатов, полученных в 2017 году
Результаты полученные в 2017 году в рамках выполнения настоящего проекта Российского научного фонда на проведение фундаментальных и поисковых научных исследований направлены на поиски решения конкретных задач следующих направлений: создание и совершенствование новых типов тонкопленочных солнечных элементов и разработка эффективных сенсоров для определения малых количеств органических веществ регистрацией усиленного сигнала комбинационного рассеяния (КР) света на основе пористых полупроводников с плазмонными металлическими наночастицами, синтезированными ионной имплантацией. Поиск решения энергетической проблемы по эффективному конвертированию солнечного излучения в электричество является одним из приоритетных направлений как фундаментальных, так и прикладных исследований. В настоящее время на практике для обеспечения необходимого уровня поглощения солнечного излучения используются элементы из достаточно толстых пластин кристаллического с-Si от 180 до 300 мкм. При этом основные расходы на изготовление солнечных батарей определяются затратами на выращивание и последующую технологическую обработку толстослойных подложек с-Si. Поэтому представляется актуальным и экономически важным создание солнечных элементов на тонких слоях Si (< 1 m) [A. Polman. Science 352, 307 (2016)]. К тому же, для тонкослойных солнечных элементов расширяется область их функционального применения при интегрировании с современными компактными оптоэлектронными устройствами на Si–основе, например, для космических спутников. Основным ограничением для эффективного использования тонкопленочных солнечных элементов является достаточно низкое поглощение в видимой области света. С целью повышения поглощательной способности солнечных элементов относительно недавно был предложен подход, заключающийся в использовании в структуре тонких слоев Si наночастиц серебра и золота малых размеров (< 30 нм) [H. Atwater, A. Polman. Nature Mat. 9, 205 (2010)], в которых под действием света возникает локализованный плазмонный резонанс. Плазмонный резонанс проявляется в интенсивном поглощении света металлическими наночастицами в области видимого спектрального диапазона, что может обеспечить суммарный вклад в повышенное поглощение тонкого полупроводникового слоя, содержащего наночастицы. Более того, возникающее вблизи наночастиц вследствие плазмонного резонанса локальное электромагнитное поле способно генерировать появление электронно-дырочных пар в полупроводниках. Однако, несмотря на значительные достижения в области оптической плазмоники наноструктур в целом, понимание и приложение плазмоники для усиления фотовольтаических эффектов к настоящему времени изучено крайне слабо. Таким образом, представляется важным поиск путей создания и оптимизации тонкопленочных Si и Ge слоев с металлическими наночастицами. Для формирования композиционных слоев с наночастицами Ag используются методы вакуумного осаждения, электронной литографии, различные химические подходы и т.д. Все перечисленные методы ведут к осаждению серебра лишь на поверхности полупроводниковых пленок. В настоящем проекте нами предложен новый подход, заключающийся в использовании для создания объемных композиционных слоев металл-полупроводник ионной имплантации, которая обеспечивает принудительное внедрение ионов металла в объем полупроводника. Исследований по синтезу наночастиц Ag в матрице Si при ионной имплантации для приложений в солнечной энергетике до настоящего времени не проводилось. Поэтому одна из целей выполняемого проекта заключается в разработке эффективного метода получения и исследования новых двумерных материалов, пригодных для использования в качестве солнечных элементов, состоящих из тонкопленочных слоев пористого кремния и германия с наночастицами серебра, сформированных по оригинальной технологии с применением низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности полупроводников. Достигаемое в результате проводимых исследований структурирование и порообразование поверхности полупроводников призвано служить для снижения потерь энергии из-за отражения поверхностными слоями солнечных элементов. Тогда как повышение их поглощательной способности обеспечивается проявлением оптических плазмонных резонансных свойств наночастиц серебра, формирование которых успешно продемонстрированно результатами 2017 года. Отметим и другой не менее важный экспериментальный результат, достигнутый нами в 2017 году. Как показано проведенными исследованиями, в результате имплантации кристаллических полупроводников ионами серебра, кристаллическая структура подложек трансформируется в аморфную. Данное обстоятельство может снижать эффективность электронного транспорта и фотовольтаических свойств в аморфной среде, насыщенной структурными дефектами. При этом классическая методика термического отжига, известная для восстановления кристаллической структуры облучаемых материалов, не подходит в нашем случае для модификации композиционных слоев, поскольку приводит к испарению серебра. Однако, как показали наши эксперименты, создание тонких кристаллических кремниевых слоев с наночастицами серебра возможно при использовании комбинированных методов ионной имплантации с последующим лазерным отжигом. Предлагаемый в настоящем проекте подход имеет потенциальную технологическую реализацию, и может позволить существенно уменьшить толщину полупроводниковых солнечных элементов при сохранении требуемых свойств, что снизит их стоимость и позволит интегрировать тонкопленочные элементы с современными миниатюрными оптоэлектронными устройствами. Касательно второй обозреваемой задачи можно отметить следующее. В настоящее время спектроскопия комбинационного рассеяния света (КР) представляет собой один из эффективных аналитических методов исследования и обнаружения малых количеств органических соединений, поскольку разность частот рассеянного и возбуждающего оптического излучения молекул равна частоте внутримолекулярных колебаний, что является их индивидуальной характеристикой. Однако эффективность возбуждения КР относительно мала по сравнению, например, с флюоресценцией, что влечет за собой поиск различных решений для усиления интенсивности КР-сигнала. Один из способов повышения эффективности КР молекул заключается в помещении их в электромагнитное плазмонное поле наночастиц благородных металлов (серебро, золото, медь, платина), возникающее под действием света. При расположении анализируемой молекулы в этом ближнем поле происходит увеличение интенсивности КР и механизм усиления КР называется электромагнитным. Эффективность КР зависит от структуры подложек с металлическими наночастицами, а также их гранулометрических параметров, типа металла и т.д. Кроме электромагнитного описания, эффект усиления КР в литературе объясняется химическим механизмом, реализуемым при адсорбции молекул на металлических наночастицах. Несмотря на большое количество теоретических и экспериментальных исследований, в настоящее время продолжается поиск эффективных КР-подложек с металлическими наночастицами, характеризуемых воспроизводимыми свойствами, для получения интенсивного КР-сигнала от наносимого органического соединения. Одним из распространенных способов изготовления активных КР-подложек является химический подход формирования серебряных наночастиц в растворах с последующим нанесением на твердые поверхности различных материалов. Таким подходом, в частности, изготавливаются КР-подложки с частицами серебра на поверхности пористого кремния при анодном травлении [A. Panarin et al. Appl. Surf. Sci. 2009]. Недостатками химических методов являются низкая воспроизводимость синтеза наночастиц и загрязнение подложек продуктами реакций. В настоящем исследовании рассматриваются вопросы создания и исследования КР-подложек нового типа также на основе пористого кремния с наночастицами серебра, но изготовляемых физическим методом высокодозовой низкоэнергетической ионной имплантации в вакууме. Полученные в 2017 году результаты на примере молекул красителя метилового оранжевого демонстрируют потенциальную возможность применения слоев пористого кремния с ионно-синтезированными наночастицами серебра для усиления сигнала КР органических соединений. Были проведены поисковые эксперименты на образцах, сформированных при различных значениях при вариации такого параметра ионного ускорителя, как плотность тока в ионном пучке. Обнаружено усиление КР-сигнала для молекул метилового оранжевого от данного параметра имплантации. Показано, что наибольшее возрастание интенсивности КР было достигнуто для образцов, синтезированных при больших значениях плотностей тока, для которых наблюдается более высокая концентрация наночастиц серебра, проявляющих поверхностный плазмонный резонанс. Таим образом, полученные в 2017 году фундаментальные результаты находят свое проявление в решении ряда поисковых задач, востребованных на практике.

 

Публикации

1. Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Characterization of silicon surfaces implanted with silver ions at low energy using spectroscopic ellipsometry Vacuum, 148, 254-257 (год публикации - 2018) https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2017.11.027

2. Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Pulsed laser annealing of high-dose Ag+-ion implanted Si layer Journal of Physics D: Applied Physics, - (год публикации - 2017) https://doi.org/10.1088/1361-6463/aa9948

3. Рогов А.М., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Н.Н. Брандт, Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. SERS-активные подложки нового типа, полученные методом ионной имплантации серебра Когерентная оптика и оптическая спектроскопия: XXI Международная молодежная научная школа: сборник статей. - Казань: Издательство "ФЭН" АН РТ, 2017. 186 с., - (год публикации - 2017)

4. Степанов А.Л., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н. Анализ поверхности кремния, имплантированного ионами серебра, по спектрам оптического отражения Журнал прикладной спектроскопии - Journal of Applied Spectroscopy, 84, 5, 785-789 (год публикации - 2017) https://doi.org/10.1007/s10812-017-0545-9

5. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н., Воробьев В.В. Синтез пористого германия с наночастицами серебра методом ионной имплантации Российские нанотехнологии, №5, 2017 (год публикации - 2017)

6. Степанов А.Л., Осин Ю.Н., Воробьев В.В., Валеев В.Ф., Нуждин В.И. Optical reflectance of silicon implanted by silver ions OPTOELECTRONICS AND ADVANCED MATERIALS – RAPID COMMUNICATIONS, - (год публикации - 2017)

7. Степанов А.Л., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Рогов А.М., Осин Ю.Н. Synthesis of porous silicon and germanium layers with silver nanoparticles by ion implantation Advances in Nanotechnology, Nova Science Publishers, New York, Chapter 8, P. 183-200 (год публикации - 2017)

8. Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Курбатова Н.В., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Формирование фоточувствительных слоев Ag:Si и Ag:GeSi с наночастицами серебра методами ионной имплантации и лазерного отжига Фотоника 2017: тезисы конференции. - Новосибирск: ИПЦ НГУ, 2017., - (год публикации - 2017)

9. Рогов А.М., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых слоев имплантированных ионами серебра Scanning Probe Microscopy. Abstract Book of International Conference (Ekaterinburg, August 28-30, 2017) Ekaterinburg, Ural Federal Universit, С. 115-116 (год публикации - 2017)

10. Рогов А.М., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. New-type SERS-active substrartes forme with Ag ion implantation of Si 26th annual International Laser Physics Workshop (Kazan, July 17-21, 2017), - (год публикации - 2017)

11. Рогов А.М., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Сканирующая зондовая микроскопия кремниевых и германиевых слоев, имплантированных ионами серебра Международная конференция. Тезисы конференции. Физика СПб. 2017, - (год публикации - 2017)

12. Степанов А.Л. Synthesis of metal nanoparticles in dielectrics and semiconductors by ion implantation Twentieth international summer school on vacuum, electron and ion technologies - VEIT-2017, Abstract book, 25-29 Sept. 2017, Sozopol, Bulgaria, - (год публикации - 2017)

13. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Рогов А.М. Ag-ion implantation of silicon Book of abstract, International conference on phosphorus, boron and silicon - PBSi, PremC, July 3-5 2017, Paris, France, P. 78-79 (год публикации - 2017)

14. Базаров В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Наблюдение методом спектральной эллипсометрии аморфного кремния, облученного низкими дозами ионов серебра Труды 12-й Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом" 19-22 сентября 2017, Минск, Беларусь, С. 304-305 (год публикации - 2017)

15. Баталов Р.И., Баязитов Р.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Создание методом ионной имплантации и импульсного лазерного отжига композиционных слоев Si и GeSi с наночастиами Ag Труды 12-й Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом" 19-22 сентября 2017, Минск, Беларусь, С. 306-308 (год публикации - 2017)

16. Климович И.М., Зайков В.А., Романов И.А., Комаров Ф.Ф., Осин Ю.Н., Воробьев В.В., Степанов А.Л. Влияние потенциала смещения и нагрева подложки на оптические свойства Si-покрытия, формируемых методом магнетронного распыления Седьмой белорусский космический конгресс: материалы конгресса. т. 1. Минск, 24-26 октябрь 2017 г. - Минск: ОИПИ НАН Беларуси, 2017., - (год публикации - 2017)

17. Климович И.М., Зайков В.А., Романов И.А., Осин Ю.Н., Рогов А.М., Степанов А.Л. Формирование оптически-прозрачных кремниевых покрытий методом магнетронного распыления Труды 12-й Международной конференции "Взаимодействие излучений с твердым телом" 19-22 сентября 2017, Минск, Беларусь, С. 329-330 (год публикации - 2017)

18. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н. Новые перспективные материалы для солнечных элементов на основе пористого кремния с наночастиами серебра, сформированных ионной имплантацией Седьмой белорусский космический конгресс: материалы конгресса. т. 1. Минск, 24-26 октябрь 2017 г. - Минск: ОИПИ НАН Беларуси, 2017., - (год публикации - 2017)


Аннотация результатов, полученных в 2018 году
Результаты полученные в 2018 году в рамках выполнения настоящего проекта Российского научного фонда на проведение фундаментальных и поисковых научных исследований направлены на поиски решения конкретных задач следующих направлений: создание и совершенствование новых типов тонкопленочных солнечных элементов и разработка эффективных сенсоров для определения малых количеств органических веществ регистрацией усиленного сигнала комбинационного рассеяния (КР) света на основе пористых полупроводников с плазмонными металлическими наночастицами, синтезированными ионной имплантацией. Поиск решения энергетической проблемы по эффективному конвертированию солнечного излучения в электричество является одним из приоритетных направлений как фундаментальных, так и прикладных исследований. В настоящее время на практике для обеспечения необходимого уровня поглощения солнечного излучения используются элементы из достаточно толстых пластин кристаллического с-Si от 180 до 300 мкм. При этом основные расходы на изготовление солнечных батарей определяются затратами на выращивание и последующую технологическую обработку толстослойных подложек с-Si. Поэтому представляется актуальным и экономически важным создание солнечных элементов на тонких слоях Si (< 1 m) [A. Polman. Science 352, 307 (2016)]. К тому же, для тонкослойных солнечных элементов расширяется область их функционального применения при интегрировании с современными компактными оптоэлектронными устройствами на Si–основе, например, для космических спутников. Основным ограничением для эффективного использования тонкопленочных солнечных элементов является достаточно низкое поглощение в видимой области света. С целью повышения поглощательной способности солнечных элементов относительно недавно был предложен подход, заключающийся в использовании в структуре тонких слоев Si наночастиц серебра и золота малых размеров (< 30 нм) [H. Atwater, A. Polman. Nature Mat. 9, 205 (2010)], в которых под действием света возникает локализованный плазмонный резонанс. Плазмонный резонанс проявляется в интенсивном поглощении света металлическими наночастицами в области видимого спектрального диапазона, что может обеспечить суммарный вклад в повышенное поглощение тонкого полупроводникового слоя, содержащего наночастицы. Более того, возникающее вблизи наночастиц вследствие плазмонного резонанса локальное электромагнитное поле способно генерировать появление электронно-дырочных пар в полупроводниках. Однако, несмотря на значительные достижения в области оптической плазмоники наноструктур в целом, понимание и приложение плазмоники для усиления фотовольтаических эффектов к настоящему времени изучено крайне слабо. Таким образом, представляется важным поиск путей создания и оптимизации тонкопленочных Si и Ge слоев с металлическими наночастицами. Для формирования композиционных слоев с наночастицами Ag используются методы вакуумного осаждения, электронной литографии, различные химические подходы и т.д. Все перечисленные методы ведут к осаждению серебра лишь на поверхности полупроводниковых пленок. В настоящем проекте нами предложен новый подход, заключающийся в использовании для создания объемных композиционных слоев металл-полупроводник ионной имплантации, которая обеспечивает принудительное внедрение ионов металла в объем полупроводника. Исследований по синтезу наночастиц Ag в матрице Si при ионной имплантации для приложений в солнечной энергетике до настоящего времени не проводилось. Поэтому одна из целей выполняемого проекта заключается в разработке эффективного метода получения и исследования новых двумерных материалов, пригодных для использования в качестве солнечных элементов, состоящих из тонкопленочных слоев пористого кремния и германия с наночастицами серебра, сформированных по оригинальной технологии с применением низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности полупроводников. Достигаемое в результате проводимых исследований структурирование и порообразование поверхности полупроводников призвано служить для снижения потерь энергии из-за отражения поверхностными слоями солнечных элементов. Тогда как повышение их поглощательной способности обеспечивается проявлением оптических плазмонных резонансных свойств наночастиц серебра, формирование которых успешно продемонстрированно результатами 2018 года. Отметим и другой не менее важный экспериментальный результат, достигнутый нами в 2018 году. Как показано проведенными исследованиями, в результате имплантации кристаллических полупроводников ионами серебра, кристаллическая структура подложек трансформируется в аморфную. Данное обстоятельство может снижать эффективность электронного транспорта и фотовольтаических свойств в аморфной среде, насыщенной структурными дефектами. При этом классическая методика термического отжига, известная для восстановления кристаллической структуры облучаемых материалов, не подходит в нашем случае для модификации композиционных слоев, поскольку приводит к испарению серебра. Однако, как показали наши эксперименты, создание тонких кристаллических кремниевых слоев с наночастицами серебра возможно при использовании комбинированных методов ионной имплантации с последующим лазерным отжигом. Предлагаемый в настоящем проекте подход имеет потенциальную технологическую реализацию, и может позволить существенно уменьшить толщину полупроводниковых солнечных элементов при сохранении требуемых свойств, что снизит их стоимость и позволит интегрировать тонкопленочные элементы с современными миниатюрными оптоэлектронными устройствами. Касательно второй обозреваемой задачи можно отметить следующее. В настоящее время спектроскопия комбинационного рассеяния света (КР) представляет собой один из эффективных аналитических методов исследования и обнаружения малых количеств органических соединений, поскольку разность частот рассеянного и возбуждающего оптического излучения молекул равна частоте внутримолекулярных колебаний, что является их индивидуальной характеристикой. Однако эффективность возбуждения КР относительно мала по сравнению, например, с флюоресценцией, что влечет за собой поиск различных решений для усиления интенсивности КР-сигнала. Один из способов повышения эффективности КР молекул заключается в помещении их в электромагнитное плазмонное поле наночастиц благородных металлов (серебро, золото, медь, платина), возникающее под действием света. При расположении анализируемой молекулы в этом ближнем поле происходит увеличение интенсивности КР и механизм усиления КР называется электромагнитным. Эффективность КР зависит от структуры подложек с металлическими наночастицами, а также их гранулометрических параметров, типа металла и т.д. Кроме электромагнитного описания, эффект усиления КР в литературе объясняется химическим механизмом, реализуемым при адсорбции молекул на металлических наночастицах. Несмотря на большое количество теоретических и экспериментальных исследований, в настоящее время продолжается поиск эффективных КР-подложек с металлическими наночастицами, характеризуемых воспроизводимыми свойствами, для получения интенсивного КР-сигнала от наносимого органического соединения. Одним из распространенных способов изготовления активных КР-подложек является химический подход формирования серебряных наночастиц в растворах с последующим нанесением на твердые поверхности различных материалов. Таким подходом, в частности, изготавливаются КР-подложки с частицами серебра на поверхности пористого кремния при анодном травлении [A. Panarin et al. Appl. Surf. Sci. 2009]. Недостатками химических методов являются низкая воспроизводимость синтеза наночастиц и загрязнение подложек продуктами реакций. В настоящем исследовании рассматриваются вопросы создания и исследования КР-подложек нового типа также на основе пористого кремния и германия с наночастицами серебра, но изготовляемых физическим методом высокодозовой низкоэнергетической ионной имплантации в вакууме. Полученные в 2018 году результаты на примере молекул красителя метилового оранжевого и родамина 6ж демонстрируют потенциальную возможность применения слоев пористого кремния и германия с ионно-синтезированными наночастицами серебра для усиления сигнала КР органических соединений. Были проведены поисковые эксперименты на образцах, сформированных при различных значениях при вариации такого параметра ионного ускорителя, как плотность тока в ионном пучке. Обнаружено усиление КР-сигнала для молекул метилового оранжевого и родамина от данного параметра имплантации. Показано, что наибольшее возрастание интенсивности КР было достигнуто для образцов, синтезированных при больших значениях плотностей тока, для которых наблюдается более высокая концентрация наночастиц серебра, проявляющих поверхностный плазмонный резонанс. Таим образом, полученные в 2018 году фундаментальные результаты находят свое проявление в решении ряда поисковых задач, востребованных на практике.

 

Публикации

1. Баталов Р.И., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Бизяев Д.А., Бухараев А.А., Баязитов Р.М., Осин Ю.Н., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Воздействие импульсного лазерного излучения на слои Si с высокой дозой имплантированных ионов Ag+ Оптика и спектроскопия, Т. 125, вып. 4, С. 549-555. (год публикации - 2018) https://doi.org/10.21883/OS.2018.10.46710.169-18

2. Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Нургазизов Н.И., Бухараев А.А., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Фотоэлектрические свойства композитных слоев Si с наночастицами Ag, полученных ионной имплантацией и лазерным отжигом Оптика и спектроскопия, Т. 126, вып. 2, С. 214-219 (год публикации - 2019)

3. Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Брандт Н.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Комбинационное рассеяние света молекулами красителя метилового оранжевого на поверхности кремния с ионно-синтезированными наночастицами серебра Оптика и спектроскопия, Т. 124, вып. 5, С. 617-622. (год публикации - 2018) https://doi.org/10.21883/OS.2018.05.45941.291-17

4. Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю., Ермаков М.А., Степанов А.Л. Микросокпия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами Журнал технической физики, Т. 89, вып. 2, С.226-234. (год публикации - 2019)

5. Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н., Романов И.А., Климович И.М., Степанов А.Л. Ионная имплантация как способ формирования пористого германия с наночастицами меди Российские нанотехнологии, Т. 13, № 9-10, С. 35-43 (год публикации - 2018)

6. Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Porous germanium with Ag nanoparticles formed by ion implantation Journal of Physics: Conference Series, Vol. 1092, P. 012125-1 - 012125-4 (год публикации - 2018) https://doi.org/10.1088/1742-6596/1092/1/012125

7. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н. Study of silicon surface implanted by silver ions Vacuum, V. 159, P. 353-357 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.10.060

8. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Рогов А.М., Воробьев В.В., Осин Ю.Н. Porous germanium formed by low energy high dose Ag+-ion implantation Vacuum, V. 152, P. 200-204 (год публикации - 2018) https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.03.030

9. Степанов А.Л. Ion implantation synthesis and optics of metal nanoparticles Ion implantation synthesis and optics of metal nanoparticles, LAMBERT Academic Publishing, - (год публикации - 2018)

10. Степанов А.Л., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Рогов А.М., Осин Ю.Н. Characterisation of low-energy Ag+ - ion implanted silicon by optical reflection spectra Ion implantation: Synthesis, Applications and Technology, Nova Science Publishers, Chapter 3, P. 77-91 (год публикации - 2018)

11. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Осин Ю.Н. СПОСОБ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ К ГИГАНТСКОМУ КОМБИНАЦИОННОМУ РАССЕЯНИЮ ПОДЛОЖЕК НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ, СОДЕРЖАЩЕГО НАНОЧАСТИЦЫ СЕРЕБРА -, 2018123431 (год публикации - )


Аннотация результатов, полученных в 2019 году
Результаты полученные в 2019 году в рамках выполнения настоящего проекта Российского научного фонда на проведение фундаментальных и поисковых научных исследований направлены на поиски решения конкретных задач следующих направлений: синтез новых типов пористых полупроводниковых материалов, содержащих металлическую фазу в виде наночастиц, с целью создания и совершенствования новых типов тонкопленочных солнечных элементов, а также апробирование полученных материалов для решения ряда новых прикладных задач при их использовании в энергетике в качестве анодных электродов литиевых батарей, а в медицине для выращивания на развитых пористых поверхностях различных типов бактерий и их содержащих биопленок, характеризуемых низкой адгезией. Поиск решения энергетической проблемы по эффективному конвертированию солнечного излучения в электричество является одним из приоритетных направлений как фундаментальных, так и прикладных исследований. В настоящее время на практике для обеспечения необходимого уровня поглощения солнечного излучения используются элементы из достаточно толстых пластин кристаллического с-Si от 180 до 300 мкм. При этом основные расходы на изготовление солнечных батарей определяются затратами на выращивание и последующую технологическую обработку толстослойных подложек с-Si. Поэтому представляется актуальным и экономически важным создание солнечных элементов на тонких слоях Si (< 1 мкм). К тому же, для тонкослойных солнечных элементов расширяется область их функционального применения при интегрировании с современными компактными оптоэлектронными устройствами на Si–основе, например, для космических спутников. Основным ограничением для эффективного использования тонкопленочных солнечных элементов является достаточно низкое поглощение в видимой области света. С целью повышения поглощательной способности солнечных элементов относительно недавно был предложен подход, заключающийся в использовании в структуре тонких слоев Si наночастиц серебра и золота малых размеров (< 30 нм), в которых под действием света возникает локализованный плазмонный резонанс. Плазмонный резонанс проявляется в интенсивном поглощении света металлическими наночастицами в области видимого спектрального диапазона, что может обеспечить суммарный вклад в повышенное поглощение тонкого полупроводникового слоя, содержащего наночастицы. Более того, возникающее вблизи наночастиц вследствие плазмонного резонанса локальное электромагнитное поле способно генерировать появление электронно-дырочных пар в полупроводниках. Однако, несмотря на значительные достижения в области оптической плазмоники наноструктур в целом, понимание и приложение плазмоники для усиления фотовольтаических эффектов к настоящему времени изучено крайне слабо. Таким образом, представляется важным поиск путей создания и оптимизации тонкопленочных Si и Ge слоев с металлическими наночастицами. Для формирования композиционных слоев с наночастицами Ag используются методы вакуумного осаждения, электронной литографии, различные химические подходы и т.д. Все перечисленные методы ведут к осаждению Ag лишь на поверхности полупроводниковых пленок. В настоящем проекте был предложен новый подход, заключающийся в использовании для создания объемных композиционных слоев металл-полупроводник ионной имплантации, которая обеспечивает принудительное внедрение ионов металла в объем полупроводника. Исследований по синтезу наночастиц Ag в матрице Si и Ge при ионной имплантации для приложений в солнечной энергетике до настоящего времени не проводилось. Поэтому одна из целей выполняемого проекта заключается в разработке эффективного метода получения и исследования новых двумерных материалов, пригодных для использования в качестве солнечных элементов, состоящих из тонкопленочных слоев пористого Si и Ge с наночастицами Ag или Cu, сформированных по оригинальной технологии с применением низкоэнергетической высокодозовой имплантации ионами металла поверхности полупроводников. Достигаемое в результате проводимых исследований структурирование и порообразование поверхности полупроводников призвано служить для снижения потерь энергии из-за отражения поверхностными слоями солнечных элементов. Тогда как повышение их поглощательной способности обеспечивается проявлением оптических плазмонных резонансных свойств наночастицами благородных металлов, формирование которых успешно продемонстрированно новыми результатами 2019 года. Отметим и другой не менее важный экспериментальный результат, достигнутый в 2019 году. Как показано проведенными исследованиями, в результате имплантации кристаллических полупроводников ионами серебра, кристаллическая структура подложек трансформируется в аморфную. Данное обстоятельство может снижать эффективность электронного транспорта и фотовольтаических свойств в аморфной среде, насыщенной структурными дефектами. При этом классическая методика термического отжига, известная для восстановления кристаллической структуры облучаемых материалов, не подходит в нашем случае для модификации композиционных слоев, поскольку приводит к испарению серебра. Однако, как показали наши эксперименты, создание тонких кристаллических слоев Si и Ge с наночастицами Ag возможно при использовании комбинированных методов ионной имплантации с последующим мощным световым импульсным отжигом или ионным импульсным отжигом. Апробированный в настоящем проекте подход имеет потенциальную технологическую реализацию, и может позволить существенно уменьшить толщину полупроводниковых солнечных элементов при сохранении требуемых свойств, что снизит их стоимость и позволит интегрировать тонкопленочные элементы с современными миниатюрными оптоэлектронными устройствами. 2019 год ознаменовался вручением Нобелевской премии в области химии трем ученым – Джон Гут Гуденаф из Техасского университета в Остине, Стэнли Уиттингэм из Университета Бингемтона и Акира Йошино из Университета Мейхо — за разработку и развитие идеи использования на практике в области энергетики литий-ионные перезаряжаемые батареи. Разработка литий-ионных аккумуляторов начались в 1970- годах. В настоящее время развитие данного направления повышения эффективности функционирования таких батарей заключается в поиске и использовании новых композиционных материалов для анодов - электродов батарей с тем, чтобы повысить рабочее напряжение, а также уменьшить старение и продлить срок службы данных устройств. Одним из перспективных путей решения данной задачи является использование в качестве анодного электрода литиевых батарей пористый Ge, содержащий различные металлы. Для получения PGe используются различные технологические подходы такие, как электрохимическая обработка монокристаллического c-Ge в концентрированных электролитах, плазмой-стимулируемое химическое осаждение из паровой фазы, метод искрового разряда, термический отжиг керамических пленок GeO2 в атмосфере водорода и др. В настоящем проекте было предложено и начаты поисковые исследования создания слоев PGe методом ионной имплантации, с различными переходными металлами для их применения в качестве анодов литий-ионных батарей. Другой важной поисковой задачей начатой в 2019 году является проблема, связанная с важной чертой существования биологических микроорганизмов на различных поверхностях, а, именно, их адгезия к различным поверхностям. Внимание к вопросу об адгезии микроорганизмов было привлечено в связи с тем, что адгезия является первым этапом многих инфекционных болезней, и если научиться предотвращать или стимулировать адгезию, то можно избегать возникновения заболеваний. Большое значение в современной медицине имеет образование биопленок бактерий на внутренних поверхностях медицинских приборов, катетеров и инъекционных игл, и др. В настоящем проекте было предложено и начаты поисковые исследования по использованию высокопористых поверхностей различной морфологии биоинертного материала на основе PGe, содержащего различные металлы и созданного ионной имплантацией в вакууме, для изучения возможностей повышенной адгезии бактерий и биопленок на примере штампа стафилококка. Таким образом, полученные в 2019 году фундаментальные результаты находят свое проявление в решении ряда поисковых задач, востребованных на практике. В изданной монографии авторов А.Л. Степанова, В.И. Нуждина, А.М. Рогова, В.В. Воробьева «Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами методом ионной имплантации, Издательство ФИЦ КазНЦ РАН: Казань, 2019, 188 с. ISBN 978-5-94469-044-9» представлены обобщающие результаты, полученные в ходе выполнения проекта за 2017-2019 годы.

 

Публикации

1. Баталов Р.И., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Нургазизов Н.И., Бухараев А.А., Ивлев Г.Д., Степанов А.Л. Фотоэлектрические свойства композитных слоев Si с наночастицами Ag, полученных ионной имплантацией и лазерным отжигом Оптика и спектроскопия, Т. 126, Вып. 2, С. 214-219 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.21883/OS.2019.02.47207.278-18

2. Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Эйдельман К.Б., Табачкова Н.Ю. , Ермаков М.А., Степанов А.Л. Микроскопия поверхности кремния, имплантированного ионами серебра высокими дозами Журнал технической физики, Том 89, Вып. 2, С. 226-234 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.21883/JTF.2019.02.47075.145-18

3. Кухта А.В., Максименко С.А., Таоуби М.И., Харб М., Каталдо А., Белучи С., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Effect of silver doping by ion implantation on graphene nanoplatelets properties Optoelectronics and Advanced Materials-Rapid Communications, V. 13, No. 5-6, P. 354-358 (год публикации - 2019)

4. Рогов А.М., Гумаров А.И., Тагиров Д.Р., Степанов А.Л. Swelling and sputtering of porous germanium by silver ions Composites Communications, V. 16, P. 57-60 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.1016/j.coco.2019.08.013

5. Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Гумаров А.И., Тагиров Л.Р., Климович И.М., Степанов А.Л. Porous germanium with copper nanoparticles formed by ion implantation Vacuum, V. 166, P. 84-87 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2019.04.062

6. Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Пористый германий с наночастицами меди Труды 13-я Международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом», 30 сентября - 3 октября 2019 г., Минск, Беларусь, С. 405-408 (год публикации - 2019)

7. Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Поверхностные процессы, происходящие при имплантации монокристаллического германия ионами серебра Труды 13-я Международной конференции «Взаимодействие излучений с твердым телом», 30 сентября - 3 октября 2019 г., Минск, Беларусь, С. 83-86 (год публикации - 2019)

8. Степанов А.Л., Воробьев В.В., Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф. Sputtering of silicon surface by silver-ion implantation Nuclear Inst. and Methods in Physics Research B, V. 457, P. 1-3 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.1016/j.nimb.2019.07.020

9. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Воробьев В.В., Рогов А.М., Осин Ю.Н. Study of silicon surface implanted by silver ions Vacuum, V. 159, P. 353-357 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.1016/j.vacuum.2018.10.060

10. Степанов А.Л., Валеев В.Ф., Рогов А.М., Нуждин В.И. Silver Nanoparticles in Porous Germanium Advances in Nanoscience and Nanotechnology, V. 3, P. 1-4 (год публикации - 2019) https://doi.org/10.33140/ANN.03.03.03

11. Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Степанов А.Л. Porous silicon and germanium thin layers with silver nanoparticles Nanocomposites for Photonic and Electronic Applications, Chapter 7, P. 167-193 (год публикации - 2020) https://doi.org/10.1016/B978-0-12-818396-0.00007-8

12. Степанов А.Л., Нуждин В.И., Рогов А.М., Воробьев В.В. Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами Формирование слоев пористого кремния и германия с металлическими наночастицами, Издательство ФИЦ КазНЦ РАН, г. Казань, 188 с. (год публикации - 2019)

13. Степанов А.Л., Воробьев В.В., Нуждин В.И., Валеев В.Ф., Осин Ю.Н. Способ изготовления чувствительных к гигантскому комбинационному рассеянию подложек на основе пористого кремния, содержащего наночастицы серебра -, 2699310 (год публикации - )

14. Степанов А.Л., Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф. Способ изготовления подложки монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия -, 2019133549 (год публикации - )

15. Степанов А.Л., Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф. Подложка монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия -, 2019133550 (год публикации - )

16. Степанов А.Л., Рогов А.М., Нуждин В.И., Валеев В.Ф. Подложка монокристаллического германия с тонким поверхностн слоем пористого германия -, 2019133557 (год публикации - )


Возможность практического использования результатов
1. РАЗРАБОТКА НОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ЧУВСТВИТЕЛЬНЫХ К ГИГАНТСКОМУ КОМБИНАЦИОННОМУ РАССЕЯНИЮ СВЕТА ПОДЛОЖЕК НА ОСНОВЕ ПОРИСТОГО КРЕМНИЯ С НАНОЧАСТИЦАМИ СЕРЕБРА Исследование относится к теме разработки методов изготовления устройств, служащих для анализа химических веществ при использовании эффекта поверхностно-усиленного комбинационного рассеяния света молекулами, находящимися вблизи наноструктур (наночастиц) из Ag, проявляющих плазмонный резонанс электронов проводимости, колебания которых создает локальное электромагнитное поле. Данные устройства предназначены для определения малых концентраций органического вещества при возбуждении его лучом лазера в видимом диапазоне и выполнены на основе подложек из пористого Si с поверхностными наночастицами Ag. Новый предлагаемый не химический метод заключается в формировании заданной структуры в вакууме на поверхности исходной пластины монокристаллического кремния, путем имплантации ионами Ag+ с энергией 4 - 120 кэВ, дозой облучения, обеспечивающей концентрацию вводимых атомов металла в облучаемом слое кремния 1.0x1019 – 6.5x1023 атомов/см3, и плотностью тока ионного пучка 2x1012 - 1x1014 ион/cм2с. Рисунок в файле. Пример изображений, полученных на сканирующем зондовом микроскопе, пористой поверхности Si с ионно-синтезированными наночастицами Ag. Публикация: А.Л. Степанов, В.В. Воробьев, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Ю.Н. Осин, Способ изготовления чувствительных к гигантскому комбинационному рассеянию подложек на основе пористого кремния, содержащего наночастицы серебра, Патент РФ на изобретение № 2699310, 2019. 2. РАЗРАБОТКА НОВОЙ ТЕХНОЛОГИИ ИЗГОТОВЛЕНИЯ ПОДЛОЖКИ МОНОКРИСТАЛЛИЧЕСКОГО ГЕРМАНИЯ С ТОНКИМ ПОВЕРХНОСТНЫМ СЛОЕМ ПОРИСТОГО ГЕРМАНИЯ ОБЛУЧЕНИЕМ ИОНАМИ ПЕРЕХОДНЫХ МЕТАЛЛОВ Изобретение относится к области материаловедения, связанного с пористыми средами, в частности, тонкими поверхностными слоями пористого германия. Слои пористого германия находят применение при разработке анодных электродов аккумуляторных литиевых батарей, термофотовольтаических ячеек, а также фотодетекторов и солнечных элементов. Новым техническим результатом является то, что подложка монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия заданной морфологии может быть создана имплантацией низкоэнергетической высокодозовой имплантацией подложек монокристаллического германия ионами переходных металлов. Рисунок в файле. Примеры СЭМ-изображений структур пористого германия различной морфологии, сформированных имплантацией с-Ge ионами переходных металлов различных масс в порядке возрастания: 52Cr+; 55Mn+; 56Fe+; 59Co+; 59Ni+; 63Cu+ при E = 40 кэВ, D = 5.0×1016 ион/см2 и J = 2 мкA/см2. Публикация: А.Л. Степанов, А.В. Рогов, В.И. Нуждин, В.Ф. Валеев, Способ изготовления подложки монокристаллического германия с тонким поверхностным слоем пористого германия. Заявка на Патент РФ на изобретение № 2019133550. Положительное решение формальной экспертизы. Приоритет от 30.10.2019 3. РАЗРАБОТКА НОВОЙ МЕТОДИКИ ФОРМИРОВАНИЯ БИОПЛЕНОК И СОРБЦИЯ БАКТЕРИЙ НА ПОВЕРХНОСТИ ПОРИСТОГО ГЕРМАНИЯ, ПОЛУЧЕННОЙ ИМПЛАНТАЦИЕЙ ИОНАМИ МЕТАЛЛОВ Практическая новизна заключается в возможности использования морфологически-развитой пористой структуры поверхности слоев биосовместимого германия для роста бактерий, отличающихся очень низкой (проблемной) адгезионной способностью к поверхности подложки, с дальнейшим образованием биопленок. Продемонстрировано, что ионная имплантация может быть успешно использована для модификации поверхности пластин германия перед культивированием на его поверхности биопленок с последующим их анализом методами высокоразрешающей электронной микроскопии и энергодисперсионной спектроскопии. Рисунок в файле. Примеры СЭМ-изображений (в разных масштабах) выращенных на пористой поверхности пористого германия бактерий непатогенного штамма Staphylococcus aureus subsp. Aureus Rosenbach (ATCC 2592), используемого в лабораторной практике для изучения антибиотико-резистивности, биопленкообразований и других физиологических, генетических и морфологических характеистик бактерий. Публикация: Готовится заявка на Патент РФ.