КАРТОЧКА
ПРОЕКТА ФУНДАМЕНТАЛЬНЫХ И ПОИСКОВЫХ НАУЧНЫХ ИССЛЕДОВАНИЙ,
ПОДДЕРЖАННОГО РОССИЙСКИМ НАУЧНЫМ ФОНДОМ
Информация подготовлена на основании данных из Информационно-аналитической системы РНФ, содержательная часть представлена в авторской редакции. Все права принадлежат авторам, использование или перепечатка материалов допустима только с предварительного согласия авторов.
ОБЩИЕ СВЕДЕНИЯ
Номер 20-72-00065
НазваниеРазработка технологии микроскопии и профилометрии высокого разрешения на основе методов цифровой сингулярной оптики
РуководительСоколенко Богдан Валентинович, Кандидат физико-математических наук
Организация финансирования, регион федеральное государственное автономное образовательное учреждение высшего образования "Крымский федеральный университет имени В.И. Вернадского", Республика Крым
| Период выполнения при поддержке РНФ | 07.2020 - 06.2022 |
Конкурс№49 - Конкурс 2020 года «Проведение инициативных исследований молодыми учеными» Президентской программы исследовательских проектов, реализуемых ведущими учеными, в том числе молодыми учеными.
Область знания, основной код классификатора 02 - Физика и науки о космосе, 02-302 - Когерентная и нелинейная оптика
Ключевые словаинтерферометрия, фазовый анализ, оптический вихрь, сингулярность, микроскопия, сверхвысокое разрешение, пучки Лагерра-Гаусса
Код ГРНТИ29.03.31
СтатусУспешно завершен
ИНФОРМАЦИЯ ИЗ ЗАЯВКИ
Аннотация
Создание теоретических предпосылок и обоснований новых технических принципов, которые могут быть положены в основу программно-аппаратных средств оптической визуализации микро- и нанообъектов является одним из этапов преодоления технологических барьеров развития отрасли точной промышленности, где данный инструментарий находит широкое применение. Обеспечение быстрых и точных измерений физических параметров, например, таких как качество обработки поверхности (шероховатость) и показатель преломления среды, является одними из наиболее востребованных в индустрии оптических приборов, микроэлектроники и нанотехнологиях. Применение оптических методов в этих задачах сводится, зачастую, к анализу амплитудных и фазовых особенностей световых пучков, которые обусловлены взаимодействием и объектом измерений.
Исследование особенностей преобразования интенсивности и фазы поля параксиальных вихревых пучков, прошедших прозрачный или отражающий объект со сложной геометрией поверхности является актуальным направлением исследований в современных прикладных задачах, позволяющим воспроизводить топографию поверхности с высоким разрешением с помощью фазовых сингулярностей. Данные задачи позиционируются в производственных технологиях, метрологии и автоматизации измерений как решаемые, однако постоянный рост требований к точности и скорости обработки материалов, к получению данных о качестве изготавливаемой продукции на нормоконтроле требуют совершенствования имеющихся методов и инструментария,широкого внедрения цифровых технологий в технологический процесс.
Предлагаемый проект направлен на исследование процессов преобразования сингулярных световых пучков Лагерра-Гаусса с единичным и более высокими топологическими зарядами, распространяющимися, в одном случае, в изотропной среде ортогонально плоскости поверхности и, во втором случае - с неоднородным распределением показателя преломления вещества, составляющего объект исследования. Изучение преобразования интенсивности и фазы параксиальных пучков, прошедших объект со сложной геометрией поверхности производится с целью выявления принципов преобразования, устойчивости вихревой фазовой картины при малых возмущениях: в случае смещения вихря с оси пучка, отражения пучка под малыми углами относительно перпендикуляра к поверхности исследуемого образца, влияющими на возможность извлечения из фазовой картины вихря информации о геометрии поверхности.
Новизна предлагаемых методов анализа фазы объектных пучков заключается в суперпозиции отраженного и опорного пучков, оба являющихся сингулярными. Деформация симметрии поля одного из пучков, либо внесенная в него исследуемым объектом фазовая задержка, нарушает общую симметрию распределения интенсивности поля, что вызывает рождение локальных минимумов и максимумов в структуре параксиального пучка. Анализ фазового профиля сингулярности, ранее не применявшейся в качестве анализирующего поля, позволяет восстановить цифровым способом посредством компьютерной обработки полученных интерферограмм профиль объекта, находившегося в поле когерентного пучка с разрешающей способностью до 1 нм.
Ожидаемые результаты
В результате выполнения проекта впервые будут:
-разработаны и экспериментально протестированы простые в реализации и не требующие материальных затрат оптические методы фазовой вихревой интерферометрической микроскопии на основе сингулярных пучков (пучков Лагерра-Гаусса) с целым топологическим зарядом с наномасштабной разрешающей способностью;
-теоретически проанализированы и экспериментально подтверждены процессы возникновения и трансформации фазовых неоднородностей поля при распространении пучка с геликоидальным волновым фронтом через изотропные среды со сложным рельефом поверхности;
-экспериментально будут проанализированы зависимости трансформации фазовых неоднородностей поля при отражении пучка с геликоидальным волновым фронтом от поверхности образцов с различной степенью рассеяния;
-будут рассчитаны вертикальное и латеральное разрешения в зависимости от условий фокусировки вихревого пучка на поверхности исследуемого образца;
-впервые будет воссоздана геометрия поверхности исследуемого образца по фазовому профилю оптического вихря в аксонометрической перспективе предложенным методом.
ОТЧЁТНЫЕ МАТЕРИАЛЫ
Аннотация результатов, полученных в 2020 году
В данном исследовании представлены аналитические результаты, моделирование и эксперимент, определена чувствительность сингулярных пучков к внешним возмущениям и разрешающая способность продольного (осевого) определения разности хода. Показана зависимость динамики фазы сингулярных пучков и профиля интенсивности их суперпозиции, возникающая при изменении толщины оптически прозрачных объектов или рельефа отражающих поверхностей. Оценка разрешающей способности предложенного подхода позволила определить значение минимальных изменений толщин в пределах 1,1 нанометра, в то время как для отражающих поверхностей данный показатель составляет 1,6786 нанометра для излучения гелий-неонового лазера.
В ходе реализации проекта выявлены особенности трансформации сингулярностей волнового фронта на фазовых объектах, граница которых проходит через ось пучка. На основе полученных результатов обоснован выбор вихревых пучков с единичным топологическим зарядом в качестве зондирующего пучка в силу структурной устойчивости к фазовым возмущениям.
Разработаны физико-технические принципы и программные алгоритмы обработки данных распределений интенсивности как основа функционирования бесконтактного сканирующего микроскопа-профилометра на основе пучков Лагерра-Гаусса. Испытания разработанных методов на различных тестовых образцах позволили получить изображение геометрии поверхности исследуемого образца по фазовому профилю оптического вихря в аксонометрической перспективе.
Предложенная технология использована в микроскопии и профилометрии оптически прозрачных и отражающих сред, где этот метод выигрывает своими преимуществами, заключающимися в гибкости состава оптических элементов и расстояний между ними в экспериментальной установке. Такой подход позволяет масштабировать полученные сведения для успешного применения их в измерениях ступенчатых структур в виде тонких пленок, покрытий и шероховатости подложек в бесконтактном режиме работы, что является востребованным в области кристаллооптики. Таким образом, предлагаемый метод интерферометрии на основе сингулярных пучков имеет потенциал применения в режиме неинвазивного взаимодействия с биологическими объектами, в сочетании с цифровой голографической микроскопией, позволяет исследовать эволюционные процессы исследуемых объектов.
Считывание и цифровая обработка изображений осуществятся с компьютерной техники и разработанного в рамках проекта программного обеспечения позволяют применить множество алгоритмов обработки изображений и анализа. Разработанный программный код содержит математический аппарат обработки двумерных массивов изображения и вычисления переменных, ответственных за определение физических параметров исследуемого образца
Публикации
1. Соколенко Б.В., Шостка Н.В.,Полетаев Д.А. On the features of the interference of a set of single charged optical vortices for non-contact surface roughness analysis PROCEEDINGS OF SPIE, Vol.11525, pp (1152529-1 -1152529-8) (год публикации - 2020) https://doi.org/10.1117/12.2580404
2. Шостка Н.В., Соколенко Б.В., Каракчиева О.С., Присяжнюк А.В.,Войтицкий В.И., Полетаев Д.А.,Халилов С.И. Digital holographic visualization of microparticles retained by an optical spatial trap Journal of Physics: Conference Series, Vol. 1697, № 012161 (год публикации - 2020) https://doi.org/10.1088/1742-6596/1697/1/012161
3. Шостка Н.В., Соколенко Б.В., Полетаев Д.А., Присяжнюк А.В. Assessment of spatial optical trapping with digital holographic sensing for biological micro-particles studying PROCEEDINGS OF SPIE, Vol. 11525, pp (1152528-1 - 1152528-8) (год публикации - 2020) https://doi.org/10.1117/12.2580393
4. Присяжнюк Андрей Васильевич, Соколенко Богдан Валентинович, Полетаев Дмитрий Александрович Программа анализа цифрового голографического изображения -, 2020660030 (год публикации - )
5. - Проект ученого из ФТИ получил поддержку Российского научного фонда Пресс-служба Крымского федерального университета им. В.И. Вернадского, - (год публикации - )
Аннотация результатов, полученных в 2021 году
В ходе выполнения проекта рассчитаны распределения модуля амплитуды и фазы сингулярных пучков, математически описанных с помощью функций Лагерра-Гаусса и Куммера в условиях осевой интерференции с пучком Гаусса. Была получена эволюционная динамика распределения модуля амплитуды поля суперпозиции пучков для случая различных параметров, таких как соотношение модулей амплитуд и фаз интерферирующих пучков. Результаты, заявленные на первом этапе проекта и общие результаты, заявленные на весь срок реализации были выполнены в полном объеме, поскольку помимо пучков Лагерра-Гаусса, описывающих идеализированную модель вихревых пучков, были теоретически и экспериментально получены пучки Куммера, математическая форма описания которых близка к действительности, что было продемонстрировано в множестве сравнительных характеристик. Выявлены ключевые отличия данных моделей и отдельное сходство в поведении, особенно траекторий нулей модуля амплитуды поля, обусловленных прежде всего вихревой (геликоидальной) структурой волнового фронта пучков обоих моделей. Детальный анализ, подытоживающий результаты первого этапа и расширяющий методологический инструментарий применения данных пучков в метрологических задачах показал, что существует два основных сценария суперпозиции сингулярных пучков, позволяющих без потерь извлечь информацию о разности оптического пути. Первый подход предусматривает суперпозицию двух сингулярных пучков, имеющих одинаковые по модулю, но разные по знаку топологические заряды. Во втором сценарии в качестве опорного пучка используется пучок Гаусса. Объединяет оба подхода необходимое условие – интерференция при строгом совпадении осей пучков, в результате чего формируется характерная картина с локальными максимумами либо минимумами модуля амплитуды поля. Их миграция в поперечном сечении поля при изменении разности оптического хода, например, обусловленной некоторым объектом, помещенным в один из пучков, позволяет наглядно зарегистрировать все изменения, не прибегая к массивным вычислительным алгоритмам, а используя простой и быстродействующий анализ положения центра масс пучка. Это становится именно благодаря нарушению осесимметричной (цилиндрической симметрии) сингулярного пучка при суперпозиции с опорным пучком. В известных ранее работах такую симметрию, наоборот, сохраняли, что требовало дополнительных преобразований поля.
Теоретически и экспериментально установлено, что суперпозиция вихревых пучков с топологическим зарядом, равным единице и двум, независимо от знака, создает наилучшие условия для распознавания поворота локальных минимумов и максимумов и последующего сопоставления их положения с изменениями фазы этих пучков. Безусловно, без численной обработки изображений невозможно получить точные значения разности фаз, однако, как уже упоминалось выше, расчет этих значений становится менее ресурсоемким без потери точности. Так, экспериментально достигнутая разрешающая способность предложенного метода для когерентного источника длиной волны 632,8 нм составила 1 нм, что следует из порогового значения различимости поворота интерференционной картины. По сравнению с первым этапом, данный показатель был улучшен.
С целью исследования динамики распространения пучков Бесселя-Гаусса высшего порядка, было проведено численное моделирование эволюции пучков Лагерра-Гаусса (Куммера), Бесселя-Гаусса нулевого и первого порядка. В частности, сравниваются особенности распространения вихревых пучков Лагерра-Гаусса и Бесселя-Гаусса с топологическим зарядом . Анализ эволюции пучков показал, что применение пучков Бесселя-Гаусса имеет ограничение, обусловленное длиной бездифракционной зоны, поскольку пучки Бесселя не являются модами свободного пространства. В дальней зоне дифракции данные пучки приобретают вид кольцевой структуры, извлечь из которой информацию о фазе вихревой составляющей достаточно трудоемкая задача и требует дополнительной линзовой системы, что усложняет интерферометр. С этой точки зрения, использование пучков Лагерра-Гаусса (Куммера) и Бесселя-Гаусса в качестве зондирующих пучков в интерферометрии целесообразно распределить по классу задач, связанных с масштабами исследуемых объектов и/или пространства, в котором они находятся.
Пучки Лагерра-Гаусса (Куммера) имеют преимущество на больших расстояниях от источника излучения до объекта, например, в вакуумной камере и для метрологических задач, где поперечное разрешение в меньшей степени важно, чем продольное. Пучки Лагерра-Гаусса с радиусом перетяжки от сотен микрон до единиц миллиметров (длина Рэлея в таком случае составляет более одного метра) не испытывают заметных дифракционных искажений на неоднородностях среды, ровно также, как и не позволяют достичь поперечного разрешения, меньшего, чем радиус перетяжки пучка. В таком режиме продольное разрешение (вдоль оси пучка) ограничено лишь техническими средствами и уровнем шума (флуктуациями окружающей интерферометр и исследуемый объект среды).
В отличие от пучков Лагерра-Гаусса, пучки Бесселя-Гаусса первого порядка демонстрируют высокую эффективность при исследовании объектов с неоднородностями, пространственный масштаб которых сравним с поперечными размерами самого пучка, а также в случае фазовых ступеней, вносящих разность фаз, определяющих деструктивную интерференцию в пучках Лагерра-Гаусса. В силу меньшего диаметра центрального максимума пучка Бесселя-Гаусса, переносящего фазовую сингулярность, и структурной устойчивости к внешним возмущениям, достигается большее поперечное разрешение в задачах интерферометрии с помощью данных пучков. Сохранение информации о фазовых изменениях в исследуемом объекте при сильных искажениях поля пучка Бесселя-Гаусса достигается за счет вовлечения в процесс дифракции периферийных концентрических колец, участвующих в восстановлении центрального максимума, несущего информацию в фазовом портрете. Была оценена устойчивость интерференционной картины, регистрируемой КМОП-камерой, которая обусловлена двумя известными в интерферометрии факторами: сопротивлением к вибрациям и тепловым расширениями элементов. Для решения первой задачи рабочие длины равноплечего интерферометра Маха-Цендера для исследования поверхностей тонких изотропных оптически прозрачных пластин и пленок составили 500 мм, каждый элемент системы имел жесткий контакт с поверхностью голографического стола. Выбранное расстояние продиктовано удобством юстировки и монтажа, однако в реальных задачах длина плеч может быть сокращена вдвое. Во-вторых, конструктивно была учтена изоляция оптических элементов и полостей интерферометра от внешних атмосферных воздействий с помощью телескопических направляющих элементов. Испытания собранного лабораторного стенда показали, что уровень шума такого интерферометра составил порядка 0,5 нм. Данное заключение было сделано исходя из сравнения обработки программой экспериментальных интерферограмм и численно синтезированных с заранее заданным значением разности оптического пути между пучками.
Публикации
1. Ляхович (Шостка) Н.В., Соколенко Б.В., Войтицкий В.И., Присяжнюк А.В. Особенности интерференции пучков Куммера для задач оптических измерений Письма в Журнал технической физики, - (год публикации - 2022)
2. Соколенко Б.В., Шостка Н.В., Полетаев Д.А. Determination of the refractive index profile and surface topography of optically smooth objects using interference of optical vortices Journal of Physics: Conference Series, 2103 (012166), pp.1-8 (год публикации - 2021) https://doi.org/10.1088/1742-6596/2103/1/012166
3. Халилов С.И., Рыбась А.Ф., Соколенко Б.В., Воляр А.В., М.В. Брецько, Я.Е. Акимова, В.И. Шостка, С.И. Якубов, Е.В. Оникиенко Spiral Fiber Optic Filter Proceedings of IEEE, IEEE 2022 VIII International Conference on Information Technology and Nanotechnology (ITNT), 2022, pp. 1-4 (год публикации - 2022) https://doi.org/10.1109/ITNT55410.2022.9848766
4. Якубов С.И., Соколенко Б.В., Шостка Н.В., Полетаев Д.А., Присяжнюк А.В., Войтицкий В.И. Rotational motion encoder based on optical vortex interferometry Proceedings of the IEEE, - (год публикации - 2022)
5. Соколенко Б.В., Ляхович Н.В., Сидоренкова О.С. Оптические ловушки и манипуляторы. Современные концепции и дальнейшие перспективы Успехи физических наук, - (год публикации - 2022) https://doi.org/10.3367/UFNr.2022.02.039161
6. Соколенко Богдан Валентинович, Полетаев Дмитрий Александрович, Присяжнюк Андрей Васильевич Устройство контроля позиционирования образца -, RU 208 126 U1 (год публикации - )
Возможность практического использования результатов
Результаты, полученные в ходе выполнения проекта, несмотря на фундаментальный смысл, имеют очевидный прикладной характер. На основе данных, экспериментальных методов и программных алгоритмов перспектива и возможность дальнейшего использования проекта в экономической сфере может быть реализована в виде готового технологического продукта, программно-аппаратного комплекса и инструмента оптической метрологии. Научные ерзультаты, ставшие основой такого комплекса могут стать как новым образцом научного и исследовательского оборудования, так и дополнить/улучшить имеющиеся решения.